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Directives et précautions pour l'utilisation de cibles de pulvérisation cathodique

Directives et précautions d'utilisation des cibles de pulvérisation cathodique

Tout d'abord, la préparation de pulvérisation

Il est très important de garder la chambre à vide, en particulier le système de pulvérisation cathodique propre. Tout résidu formé par l'huile de graissage et la poussière et le pré-revêtement recueillera la vapeur d'eau et d'autres contaminants, affectant directement le degré de vide à obtenir et augmenter la possibilité de défaillance du film. Cibles de pulvérisation cathodique en métal L'arc de départ du court-circuit ou de la cible, la rugosité de la surface du film et les impuretés chimiques sont souvent dépassés en raison de la salle de pulvérisation non propre, du pistolet pulvérisateur et de la cible. Afin de maintenir la composition des caractéristiques de revêtement, le gaz de pulvérisation (argon ou oxygène) doit être propre et sec, la chambre de pulvérisation cathodique dans le substrat après la nécessité d'extraire l'air pour réaliser le processus de vide requis. Les écrans de protection des zones sombres, les murs creux et les surfaces adjacentes doivent également être maintenus propres. Dans le nettoyage de la chambre à vide, nous recommandons l'utilisation d'une méthode de grenaillage à billes de verre pour traiter les saletés en même temps que de l'air comprimé pour enlever la cavité autour du résidu de pré-pulvérisation, puis du papier de verre imprégné d'alumine doucement du polissage. Après polissage de la gaze, puis rincer avec de l'alcool, l'acétone et l'eau désionisée, et recommande l'utilisation d'un aspirateur industriel pour le nettoyage auxiliaire.

ATTENTION: Lorsque vous utilisez la cible, gardez des gants de protection propres et non protégés et évitez tout contact direct avec la cible.

Deuxièmement, la cible propre

Le but du nettoyage de la cible est d'enlever la poussière ou la saleté qui peut être présente sur la surface de la cible.

Les cibles en métal peuvent être nettoyées par quatre étapes,

La première étape dans l'acétone trempé dans le chiffon doux non pelucheux propre;

La deuxième étape est similaire à la première étape avec de l'alcool;

La troisième étape consiste à laver avec de l'eau déminéralisée. Après lavage avec de l'eau désionisée, la cible a ensuite été placée dans un four et séchée à 100 ° C pendant 30 minutes.

Nettoyage de l'oxyde et nettoyage de la cible en céramique avec un "chiffon non pelucheux".

Étape 4 Après avoir enlevé la zone sale, les cibles de pulvérisation cathodique en métal rincent la cible avec de l'argon à haute pression et à faible humidité pour éliminer toutes les impuretés qui peuvent causer des arcs dans le système de pulvérisation.

Troisièmement, l'installation cible

La chose la plus importante à noter lors de l'installation de la cible est de s'assurer qu'une bonne connexion thermique est établie entre la cible et le mur de refroidissement du pistolet pulvérisateur. Si la rigidité de la paroi de refroidissement est sévère ou si la flexion de la plaque arrière est importante, des fissures ou des flexions se produisent lorsque la cible est montée et la conductivité thermique de la cible arrière sur la cible est fortement affectée. la chaleur dans le processus de pulvérisation La distribution finira par entraîner une fissuration de la cible ou hors de la cible

Pour assurer une conductivité thermique suffisante, une couche de graphite peut être rembourrée entre la paroi de refroidissement de la cathode et la cible. Assurez-vous de vérifier soigneusement et de clarifier la planéité du mur de refroidissement du pistolet pulvérisateur utilisé tout en s'assurant que le joint torique est toujours en position.

En raison du degré de propreté de l'eau de refroidissement utilisée et de la contamination possible de l'équipement pendant le fonctionnement de l'équipement, il est nécessaire d'inspecter et de nettoyer le réservoir d'eau de refroidissement de cathode lors de l'installation de la cible. l'eau de refroidissement et l'entrée et la sortie ne seront pas bloquées.

Une partie de la conception de cathode est plus petite avec l'écart d'anode, donc l'installation de la cible doit s'assurer que la cathode et l'anode ne sont pas en contact avec le conducteur, sinon cela produira un court-circuit.

Reportez-vous aux instructions du fabricant de l'équipement pour savoir comment installer correctement la cible. Si vous ne disposez pas de cette information dans le manuel d'utilisation, essayez de suivre les recommandations fournies. Lorsque vous resserrez la fixation de la cible, serrez d'abord un boulon à la main, puis serrez à la main un autre boulon sur la diagonale. Les cibles de pulvérisation en métal doivent être répétées jusqu'à ce que vous ayez installé tous les boulons.